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클린룸용 물분무 가습

대규모 클린룸에서는 겨울철 가습 및 냉방을 위해 미스트(10μm)를 분사합니다

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특허

  • 특허출원 2003-207708
  • 특허출원 2006-285089

업적

  • 테라 프로브 큐슈

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