산키공업 주식회사(사장: 하세가와 츠토무)는 클린룸의 공기 흐름을 최적화하는 에너지 절약형 공조 시스템 “DOUP”을 개발했습니다^TM(두업)''이 개발되었습니다
본 공조 시스템은 당사가 다년간 쌓아온 클린룸 설계 및 시공 노하우를 활용하여, 높은 수준의 청정도가 요구되는 작업 영역과 생산 온라인 슬롯 추천에서 다량의 열이 발생하는 유지 관리 영역을 클린룸 내 생산 온라인 슬롯 추천의 가동 상태를 기준으로 각각에 적합한 방식으로 공조하는 기술입니다
냉수 온도 최적화를 통해 여름철 성수기 온라인 슬롯 추천 전력 소모를 줄일 수 있으며, 다양한 에너지 절약 방법과 결합하면 기존 클린룸 대비 연간 약 40% 정도의 냉각원 전력 절감이 가능합니다

● 지금까지의 '흐름'을 바꾸는 'DOUP'^TM(두업)''
반도체 전공정 클린룸은 일반적으로 칸막이 없이 넓은 공간에 생산 온라인 슬롯 추천를 배치하는 '볼룸 스타일'을 사용한다 천장에 균일하게 배치된 팬 필터 장치(FFU)를 통해 매우 깨끗하고 먼지가 제거되고 냉각된 조절된 공기가 각 구역에 분배되어 공급됩니다 제품을 취급하는 생산온라인 슬롯 추천 전면의 작업영역과 온라인 슬롯 추천 자체가 설치되는 유지관리 영역에서 청정도 유지와 열부하 처리가 동시에 이루어지며, 이를 결합 및 냉각한 후 리탄 공간을 통해 다시 FFU로 공급합니다
『두프^TM(Do-up)''은 이러한 공기의 흐름에 초점을 맞춘 기술입니다
두프^TM첫째, FFU를 이용하여 작업구역에 깨끗한 공기를 집중적으로 공급하여 작업구역 전체의 청결을 보장합니다 이렇게 조절된 공기는 유지 관리 구역에 공급되어 생산 온라인 슬롯 추천를 냉각하는 데 사용됩니다 두 영역 모두 생산 온라인 슬롯 추천 상단 높이에 도달하는 걸이형 벽으로 쉽게 분리될 수 있습니다 그 결과 다운플로우(DOWN FLOW) 및 유지보수 영역(UPFLOW)를 통해 먼지가 없고 냉각된 공조 공기를 효율적으로 사용할 수 있습니다

● 『두프^TM(Do-up)의 특징
1 클린룸 에너지 절약 작업
두프^TM에서는 열 발생 부하가 낮은 작업 영역에 공조 공기를 먼저 공급한 후 열 발생 부하가 높은 유지 관리 영역에서 가열된 따뜻한 공기를 상부에 저장하여 배출합니다 운전영역의 송풍온도는 약 20℃이며, 고온냉수시스템의 온도는 15℃까지 올릴 수 있습니다 냉장고를 더욱 효율적으로 운영할 수 있을 뿐만 아니라, 폐열회수 등 에너지 절약 방식과의 시너지 효과가 높아져, 저온(6°C) 단일 열원 시스템 대비 연간 냉원 전력을 대폭 절감할 수 있습니다

2: 제품 오염 위험 감소
두프^TM작업 영역에 강력한 하향 흐름을 생성하여 작업자로부터 온라인 슬롯 추천로 먼지가 수평으로 퍼지는 것을 줄입니다 한편, 유지보수 구역에는 온라인 슬롯 추천 유지보수 시 작업자로부터 먼지가 온라인 슬롯 추천 내부로 하향 확산되는 것을 억제하는 상향 기류가 있습니다

3: 바닥 면적의 효과적인 활용
두프^TM를 사용하면 냉각에 필요한 코일을 천장 부분의 벽에 설치하여 저장 공간이 필요 없고 바닥 공간을 효과적으로 활용할 수 있습니다

●향후 개발
현재 1개의 반도체 공장 전처리 크린룸에서 당사 제품을 사용하기로 결정되었으며, 여러 프로젝트에 대한 제안도 진행 중입니다 앞으로도 본 제품을 클린룸용 에너지절약 신기술로 적극 홍보하겠습니다